root.skip-to-content
Eesti
English
Deutsch
Log In
UT username
UT password
Log in
Communities & Collections
All of DSpace
Eesti
English
Deutsch
Log In
UT username
UT password
Log in
Home
Loodus- ja täppisteaduste valdkond
Arvutiteaduse instituut
Browse by Subject
Arvutiteaduse instituut
Permanent URI for this community
https://hdl.handle.net/10062/14970
Browse
Subcommunities and Collections
By Issue Date
By Author
By Title
By Subject
Subcommunities and Collections
By Issue Date
By Author
By Title
By Subject
Browsing Arvutiteaduse instituut by Subject "aatomkihtsadestamine"
Browse
All browse results
Now showing
1 - 1 of 1
Results Per Page
1
5
10
20
40
60
80
100
Sort Options
Ascending
Descending
Loading...
Item
Aatomkihtsadestamise meetodil valmistatavate kilede kasvu jälgimine ja kasvukiiruse salvestamine elektroonsel kujul
(
Tartu Ülikool
,
2009
)
Lõhmus, Indrek
;
Sammelselg, Väino, juhendaja
;
Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond
;
Tartu Ülikool. Arvutiteaduse instituut
Show more