Aatomkihtsadestatud hafniumtitaanoksiid-kilede elektrilised omadused

dc.contributor.advisorAarik, Jaan, juhendaja
dc.contributor.authorVask, Agnes
dc.contributor.otherTartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskondet
dc.contributor.otherTartu Ülikool. Füüsika instituutet
dc.date.accessioned2017-06-14T11:50:29Z
dc.date.available2017-06-14T11:50:29Z
dc.date.issued2017
dc.description.urihttp://www.ester.ee/record=b4681289*estest
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10062/56685
dc.language.isoestest
dc.publisherTartu Ülikoolest
dc.subject.othermagistritöödet
dc.subject.otherdielektrikudest
dc.subject.otherhafniumiühendidest
dc.subject.othertitaandioksiidest
dc.subject.otherõhukesed kiledest
dc.subject.otherelektrilised omadusedest
dc.titleAatomkihtsadestatud hafniumtitaanoksiid-kilede elektrilised omadusedest
dc.typeThesisen

Files

Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Loading...
Thumbnail Image
Name:
vask_agnes.pdf
Size:
1.15 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: