Kasikov, Aarne, juhendajaKalam, KristjanTartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondTartu Ülikool. Füüsika instituut2016-06-142016-06-142016http://hdl.handle.net/10062/51843etmagistritöödõhukesed kiledaatomkihtsadestamineellipsomeetriaAatomkihtsadestatud ternaarsete oksiidide ellipsomeetriaThesis