Piirsoo, Helle-MaiTartu Ülikool. Füüsika instituutTartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond2020-10-222020-10-222020http://hdl.handle.net/10062/70057estopenAccesshttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/ee/magistritöödnanostruktuursed materjalidaatomkihtsadestaminekorrosioonThesis