Aarik, Lauri, juhendajaKukli, Kaupo, juhendajaTuberg, Anna MariaTartu Ülikool. Füüsika instituutTartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond2025-08-272025-08-272025https://hdl.handle.net/10062/115512enAttribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Estoniahttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/ee/õhukesed kiledaatomkihtsadestusgalliumoksiidtinaoksiidmagistritöödAtomic layer deposition and properties of gallium and tin oxide-based thin filmsThesis