Kukli, Kaupo, JuhendajaMerisalu, Joonas, juhendajaOfoegbu, Chinedu HenryTartu Ülikool. Füüsika instituutTartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond2022-10-192022-10-192022http://hdl.handle.net/10062/86716engopenAccessAttribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internationalhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/magistritöödkondenseeritud aineõhukesed kiledaatomkihtsadestamineCapacitive behavior of atomic layer deposited nanomaterials for memoriesThesis