Aarik, Jaan, juhendajaVask, AgnesTartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskondTartu Ülikool. Füüsika instituut2017-06-142017-06-142017http://hdl.handle.net/10062/56685estmagistritööddielektrikudhafniumiühendidtitaandioksiidõhukesed kiledelektrilised omadusedAatomkihtsadestatud hafniumtitaanoksiid-kilede elektrilised omadusedThesis