Arroval, Tõnis, juhendajaAarik, Jaan, juhendajaVask, AgnesTartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskondTartu Ülikool. Füüsika instituut2015-06-122015-06-122015-06-12http://hdl.handle.net/10062/47072etbakalaureusetöödalumiiniumoksiidtitaandioksiidõhukesed kiledelektrilised omadusedAatomkihtsadestatud alumiiniumtitaanoksiid-kilede elektrilised omadusedThesis