Jõgiaas, Taivo, juhendajaVanker, OliverTartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondTartu Ülikool. Füüsika instituut2021-08-312021-08-312021http://hdl.handle.net/10062/73408estopenAccessAttribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internationalhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/spektroskoopiline ellipsomeetriabakalaureusetöödalumiiniumoksiidtsirkooniumdioksiidaatomkihtsadestamineAatomkihtsadestatud alumiiniumoksiidist ja tsirkooniumdioksiidist kilede mehaanilised omadusedThesis