Aarik, Jaan, juhendajaArroval, TõnisTartu Ülikool. Füüsika instituutTartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond2016-11-092016-11-092012http://hdl.handle.net/10062/54409etmagistritöödtitaandioksiidõhukesed kiledaatomkihtsadestamineKasvutingimuste ja -aluste mõju TiO2 aatomkihtsadestumiseleThesis