Sammelselg, Väino, juhendajaLõhmus, IndrekTartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondTartu Ülikool. Arvutiteaduse instituut2020-10-282020-10-282009ARH Diss. B-18871http://hdl.handle.net/10062/70100estrestrictedAccessAttribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internationalbakalaureusetöödinformaatikainfotehnoloogiainformaticsinfotechnologyõhukesed kiledaatomkihtsadestaminearvutiprogrammidAatomkihtsadestamise meetodil valmistatavate kilede kasvu jälgimine ja kasvukiiruse salvestamine elektroonsel kujulThesis