Takistuslülitused titaanalumiiniumoksiid-kiledes

dc.contributor.advisorAarik, Jaan, juhendaja
dc.contributor.authorMerisalu, Joonas
dc.contributor.otherTartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondet
dc.contributor.otherTartu Ülikool. Tehnoloogiainstituutet
dc.date.accessioned2018-06-14T10:37:29Z
dc.date.available2018-06-14T10:37:29Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractKäesolevas magistritöös uuriti takistuslülituste toimumist aatomkihtsadestatud titaanalumiiniumoksiid-kiledes. Uuritud struktuuride alumine elektrood oli RuO2 ja ülemine elektrood elektronkiiraurustamisega sadestatud Pt. Eesmärgiks oli välja selgitada, kas takistuslülitused toimuvad antud struktuurides ja kui toimuvad, siis milline on TiO2-l põhinevasse dielektrikku lisatud Al2O3 sisaldavate kihtide mõju lülitumistele. Lisaks sellele töötati välja metoodika takistuslülituste tuvastamiseks ja elektriliseks karakteriseerimiseks. Selgitati välja, et kõikides uuritud struktuurides toimuvad takistuslikud lülitused. Al2O3 sisaldava kihi paksuse suurendamine suurendas lülitumiste efektiivsust ja nende kihtide erinev paigutus mõjutas oluliselt juhtivuse sõltuvust ümberlülitamiseks kasutatavast pingest, eriti lülitumisel suure takistusega režiimi. Lisaks kirjeldati käesolevas töös takistuslülituste iseärasusi ja sellest lähtuvalt pakuti välja, millised mehhanismid võisid takistuslülitumisi antud struktuurides põhjustada.et
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10062/60715
dc.language.isoestet
dc.publisherTartu Ülikoolet
dc.rightsopenAccesset
dc.rightsAttribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Estonia*
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/ee/*
dc.subjectIEEE-488en
dc.subjectLabViewen
dc.subject.othermagistritöödet
dc.subject.otherarvutimäludet
dc.subject.othertakistusmäluet
dc.subject.otherdünaamiline muutmäluet
dc.subject.otherelektrilised mälumaterjalidet
dc.subject.othersondijaamet
dc.subject.otherarvutijuhitavad mõõtmisedet
dc.subject.otherelektrilised mõõtmised ja karakteriseerimineet
dc.subject.othertakistuslülituset
dc.subject.otherkiletehnoloogiaet
dc.subject.othertäppismõõteseadmedet
dc.subject.othercompurer memorysen
dc.subject.otherDRAMen
dc.subject.otherRRAMen
dc.subject.otherresistive swichingen
dc.subject.otherprobestationen
dc.subject.othercomputer guided measurementsen
dc.subject.otherelectrical measurements and characterizationen
dc.subject.otherelectrical memistorsen
dc.subject.otherthin film technologyen
dc.subject.otherprecision measurementen
dc.titleTakistuslülitused titaanalumiiniumoksiid-kiledeset
dc.title.alternativeResistive switching in Titanium-Aluminium thin filmsen
dc.typeThesisen

Files

Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Merisalu_MSc2018.pdf
Size:
1.05 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
1.7 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: