Sirvi Autor "Tartu Ülikool. Füüsika instituut" järgi
Nüüd näidatakse 1 - 20 476
- Tulemused lehekülje kohta
- Sorteerimisvalikud
listelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , 3D-mikroaku termiliste omaduste modelleerimine(Tartu Ülikool, 2017) Liivak, Martin; Zadin, Vahur, juhendaja; Priimägi, Priit, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , A mm-scale liquid-enabled robotic exoskeleton(Tartu Ülikool, 2021) Valdur, Kadri-Ann; Must, Indrek, Juhendaja; Tamm, Tarmo, juhendaja; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aatomkihtsadestamise protsesside mõju alumiiniumoksiid kile mehaanilistele omadustele(Tartu Ülikool, 2024) Koppel, Natali; Piirsoo, Helle-Mai, juhendaja; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutAatomkihtsadestatud (ALD) Al2O3 kile kasutatakse palju nano- ja mikrostruktuursetes seadmetes tema dielektriliste omaduste tõttu, kaasa arvatud painduval elektroonikal, kus polümeersele alusele transistorite valmistamisel peab temperatuur olema alla 350 °C. Antud töös vaadeldi 3 erineva ALD protsessi (Al(CH3)3/H2O, Al(CH3)3/O2 plasma, Al(CH3)3/O3) ja 3 eri sadestustemperatuuri (80, 150, 300 °C) mõju Al2O3 kile mehaanilistele omadustele. Mehaaniliselt karakteriseeriti kiled nanotäkkimisel, mil määrati nende kõvadus ja Youngi moodul. Kile kõvadus tõusis sadestustemperatuuriga sõltumata hapnikuallikast ja Youngi moodul H2O ja O3 kasutades. 80 ºC juures valmistati kõige kõvemad (9 GPa) ja kõrgema Youngi mooduliga (157 GPa) Al2O3 kiled O2 plasma protsessis. Antud protsessi kiled olid kõige homogeensemad. Kõige suuremad paksuse gradiendid esinesid O3 protsessides. 300 ºC juures valmistati kõige kõvemad (12 GPa) ja kõrgema Youngi mooduliga (174 GPa) Al2O3 kiled H2O protsessis.listelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aatomkihtsadestatud alumiiniumoksiidi mõju mikrotoomitera lõikevõimele(Tartu Ülikool, 2015) Seemen, Helina; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Kibur, Ragnar-Toomas, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aatomkihtsadestatud alumiiniumoksiidist ja tsirkooniumdioksiidist kilede mehaanilised omadused(Tartu Ülikool, 2021) Vanker, Oliver; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aatomkihtsadestatud alumiiniumtitaanoksiid-kilede elektrilised omadused(Tartu Ülikool, 2015-06-12) Vask, Agnes; Arroval, Tõnis, juhendaja; Aarik, Jaan, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aatomkihtsadestatud hafniumtitaanoksiid-kilede elektrilised omadused(Tartu Ülikool, 2017) Vask, Agnes; Aarik, Jaan, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aatomkihtsadestatud ning termotöödeldud ränioksiidiga dopeeritud hafniumoksiidist kilede kristallstruktuur ja mehaanilised omadused(Tartu Ülikool, 2024) Vanker, Oliver; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondKäesolevas töös uuriti aatomkihtsadestatud ränioksiidiga dopeeritud hafniumoksiidist kilesid. Kilede tegemisel varieeriti ränioksiidi dopeeringut 1,5-25,5 moolprotsendi ulatuses. Kilede kristallstruktuuri hinnati röntgendifratsiooni kaudu. Kilede kõvadus ja elastsusmoodul määrati nanotäkkimisega. Kilesid karakteriseeriti lisaks lainedispersiivne röntgenfluorestsents spektroskoopiaga, röntgenpeegeldusega ja spektroskoopilise ellipsomeetriaga. Töös demonstreeritakse kristallstruktuuri tekkimist peale termotöötlust. Hinnati kristallstruktuuri mõju kile mehaanilistele omadustele.listelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aatomkihtsadestatud tahkiskeskkondade varieeruva stabiilsusega takistuslülituslik käitumine(Tartu Ülikool, 2022) Viskus, Toomas Daniel; Kukli, Kaupo, juhendaja; Merisalu, Joonas, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aatomkihtsadestatud ternaarsete oksiidide ellipsomeetria(Tartu Ülikool, 2016) Kalam, Kristjan; Kasikov, Aarne, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aatomkihtsadestatud tina- ja hafniumoksiidi mitmikkihtide takistuslülituslik käitumine(Tartu Ülikool, 2023) Aan, Mark-Erik; Merisalu, Joonas, juhendaja; Kalam, Kristjan, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aatomkihtsadestatud tsirkooniumdioksiidil põhinevad funktsionaalsed katted meditsiinilisele titaanile(Tartu Ülikool, 2017) Aaviksoo, Elyne; Merisalu, Maido, juhendaja; Mäemets-Allas, Kristina, juhendaja; Sammelselg, Väino, juhendaja; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Adaptiivsed õpisüsteemid füüsika õppimisel ja õpetamise(Tartu Ülikool, 2018) Linnas, Indrek; Reivelt, Kaido, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Adsorbeerunud vesiniku liikumise uurimine poorses süsinikus kvaasi- ja mitteelastse neutronhajumise meetoditega(Tartu Ülikool, 2022) Strandson, Airiin Liisbet; Härmas, Riinu, juhendaja; Koppel, Miriam, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aerosooli tekke mudelarvutused(Tartu Ülikool, 2018) Ahu, Allan; Luts, Aare, juhendaja; Salm, Jaan, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aerosoolide mõju pilvedele MODIS ja SEVIRI satelliitinstrumentide põhjal(Tartu Ülikool, 2020) Põlgaste, Silver; Toll, Velle, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Ag-SiO2 tuum-kest nanotraatide mehaaniliste omaduste uurimine(Tartu Ülikool, 2014) Vahtrus, Mikk; Vlassov, Sergei, juhendaja; Paalo, Madis, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , AHHAA-like põhikooli füüsika õppematerjalide loomine, õpetajate hinnangud ning arendusettepanekud ja nende võimalik kasutamine teaduskeskuses AHHAA(Tartu Ülikool, 2019) Olev, Jaan; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aktiveerimise mõju ränikarbiidist sünteesitud süsiniku füüsikalistele karakteristikutele(Tartu Ülikool, 2013) Tee, Ester; Tallo, Indrek, juhendaja; Thomberg, Thomas, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutlistelement.badge.dso-type Kirje , listelement.badge.access-status Avatud juurdepääs , Aktiveeritud süsiniktekstiilist elektrood kindla iooniliigi elektrostaatilise kuivhoiustajana(Tartu Ülikool, 2025) Maasikmets, Sarah; Must, Indrek, juhendaja; Johanson, Urmas, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituut