Aatomkihtsadestatud ternaarsete oksiidide ellipsomeetria
| dc.contributor.advisor | Kasikov, Aarne, juhendaja | |
| dc.contributor.author | Kalam, Kristjan | |
| dc.contributor.other | Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond | et |
| dc.contributor.other | Tartu Ülikool. Füüsika instituut | et |
| dc.date.accessioned | 2016-06-14T08:18:26Z | |
| dc.date.available | 2016-06-14T08:18:26Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.description.uri | http://www.ester.ee/record=b4576642*est | et |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10062/51843 | |
| dc.language.iso | et | et |
| dc.publisher | Tartu Ülikool | et |
| dc.subject.other | magistritööd | et |
| dc.subject.other | õhukesed kiled | et |
| dc.subject.other | aatomkihtsadestamine | et |
| dc.subject.other | ellipsomeetria | et |
| dc.title | Aatomkihtsadestatud ternaarsete oksiidide ellipsomeetria | et |
| dc.type | Thesis | en |