Aatomkihtsadestatud ternaarsete oksiidide ellipsomeetria

dc.contributor.advisorKasikov, Aarne, juhendaja
dc.contributor.authorKalam, Kristjan
dc.contributor.otherTartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondet
dc.contributor.otherTartu Ülikool. Füüsika instituutet
dc.date.accessioned2016-06-14T08:18:26Z
dc.date.available2016-06-14T08:18:26Z
dc.date.issued2016
dc.description.urihttp://www.ester.ee/record=b4576642*estet
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10062/51843
dc.language.isoetet
dc.publisherTartu Ülikoolet
dc.subject.othermagistritöödet
dc.subject.otherõhukesed kiledet
dc.subject.otheraatomkihtsadestamineet
dc.subject.otherellipsomeetriaet
dc.titleAatomkihtsadestatud ternaarsete oksiidide ellipsomeetriaet
dc.typeThesisen

Failid

Originaal pakett

Nüüd näidatakse 1 - 1 1
Laen...
Pisipilt
Nimi:
Kalam_Kristjan.pdf
Suurus:
715.35 KB
Formaat:
Adobe Portable Document Format
Kirjeldus:

Litsentsi pakett

Nüüd näidatakse 1 - 1 1
Pisipilt ei ole saadaval
Nimi:
license.txt
Suurus:
1.71 KB
Formaat:
Item-specific license agreed upon to submission
Kirjeldus: