Aatomkihtsadestatud ning termotöödeldud ränioksiidiga dopeeritud hafniumoksiidist kilede kristallstruktuur ja mehaanilised omadused

dc.contributor.advisor	Jõgiaas, Taivo, juhendaja
dc.contributor.author	Vanker, Oliver
dc.contributor.other	Tartu Ülikool. Füüsika instituut	et
dc.contributor.other	Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond	et
dc.date.accessioned	2024-10-03T13:49:39Z
dc.date.available	2024-10-03T13:49:39Z
dc.date.issued	2024
dc.description.abstract	Käesolevas töös uuriti aatomkihtsadestatud ränioksiidiga dopeeritud hafniumoksiidist kilesid. Kilede tegemisel varieeriti ränioksiidi dopeeringut 1,5-25,5 moolprotsendi ulatuses. Kilede kristallstruktuuri hinnati röntgendifratsiooni kaudu. Kilede kõvadus ja elastsusmoodul määrati nanotäkkimisega. Kilesid karakteriseeriti lisaks lainedispersiivne röntgenfluorestsents spektroskoopiaga, röntgenpeegeldusega ja spektroskoopilise ellipsomeetriaga. Töös demonstreeritakse kristallstruktuuri tekkimist peale termotöötlust. Hinnati kristallstruktuuri mõju kile mehaanilistele omadustele.
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10062/105093
dc.language.iso	et
dc.publisher	Tartu Ülikool	et
dc.rights	Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Estonia	en
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/ee/
dc.subject	aatomkihtsadestamine	et
dc.subject	nanotäkkimine	et
dc.subject	termotöötlus	et
dc.subject.other	magistritööd	et
dc.title	Aatomkihtsadestatud ning termotöödeldud ränioksiidiga dopeeritud hafniumoksiidist kilede kristallstruktuur ja mehaanilised omadused	et
dc.type	Thesis	en

Files

Now showing 1 - 1 of 1