Aatomkihtsadestatud hafniumtitaanoksiid-kilede elektrilised omadused
dc.contributor.advisor | Aarik, Jaan, juhendaja | |
dc.contributor.author | Vask, Agnes | |
dc.contributor.other | Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond | et |
dc.contributor.other | Tartu Ülikool. Füüsika instituut | et |
dc.date.accessioned | 2017-06-14T11:50:29Z | |
dc.date.available | 2017-06-14T11:50:29Z | |
dc.date.issued | 2017 | |
dc.description.uri | http://www.ester.ee/record=b4681289*est | est |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10062/56685 | |
dc.language.iso | est | est |
dc.publisher | Tartu Ülikool | est |
dc.subject.other | magistritööd | et |
dc.subject.other | dielektrikud | est |
dc.subject.other | hafniumiühendid | est |
dc.subject.other | titaandioksiid | est |
dc.subject.other | õhukesed kiled | est |
dc.subject.other | elektrilised omadused | est |
dc.title | Aatomkihtsadestatud hafniumtitaanoksiid-kilede elektrilised omadused | est |
dc.type | Thesis | en |