Aatomkihtsadestatud alumiiniumoksiidist ja tsirkooniumdioksiidist kilede mehaanilised omadused
dc.contributor.advisor | Jõgiaas, Taivo, juhendaja | |
dc.contributor.author | Vanker, Oliver | |
dc.contributor.other | Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond | et |
dc.contributor.other | Tartu Ülikool. Füüsika instituut | et |
dc.date.accessioned | 2021-08-31T08:04:24Z | |
dc.date.available | 2021-08-31T08:04:24Z | |
dc.date.issued | 2021 | |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10062/73408 | |
dc.language.iso | est | et |
dc.publisher | Tartu Ülikool | et |
dc.rights | openAccess | et |
dc.rights | Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International | * |
dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | * |
dc.subject | spektroskoopiline ellipsomeetria | et |
dc.subject.other | bakalaureusetööd | et |
dc.subject.other | alumiiniumoksiid | et |
dc.subject.other | tsirkooniumdioksiid | et |
dc.subject.other | aatomkihtsadestamine | et |
dc.title | Aatomkihtsadestatud alumiiniumoksiidist ja tsirkooniumdioksiidist kilede mehaanilised omadused | et |
dc.type | Thesis | en |