Aatomkihtsadestatud alumiiniumoksiidist ja tsirkooniumdioksiidist kilede mehaanilised omadused

dc.contributor.advisorJõgiaas, Taivo, juhendaja
dc.contributor.authorVanker, Oliver
dc.contributor.otherTartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondet
dc.contributor.otherTartu Ülikool. Füüsika instituutet
dc.date.accessioned2021-08-31T08:04:24Z
dc.date.available2021-08-31T08:04:24Z
dc.date.issued2021
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10062/73408
dc.language.isoestet
dc.publisherTartu Ülikoolet
dc.rightsopenAccesset
dc.rightsAttribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International*
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/*
dc.subjectspektroskoopiline ellipsomeetriaet
dc.subject.otherbakalaureusetöödet
dc.subject.otheralumiiniumoksiidet
dc.subject.othertsirkooniumdioksiidet
dc.subject.otheraatomkihtsadestamineet
dc.titleAatomkihtsadestatud alumiiniumoksiidist ja tsirkooniumdioksiidist kilede mehaanilised omadusedet
dc.typeThesisen

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Loading...
Thumbnail Image
Name:
vanker_oliver_baka.pdf
Size:
1.39 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
1.67 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: