Kasvutingimuste ja -aluste mõju TiO2 aatomkihtsadestumisele
dc.contributor.advisor | Aarik, Jaan, juhendaja | |
dc.contributor.author | Arroval, Tõnis | |
dc.contributor.other | Tartu Ülikool. Füüsika instituut | et |
dc.contributor.other | Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond | et |
dc.date.accessioned | 2016-11-09T14:37:19Z | |
dc.date.available | 2016-11-09T14:37:19Z | |
dc.date.issued | 2012 | |
dc.description.uri | http://www.ester.ee/record=b4620986*est | et |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10062/54409 | |
dc.language.iso | et | et |
dc.publisher | Tartu Ülikool | et |
dc.subject.other | magistritööd | et |
dc.subject.other | titaandioksiid | et |
dc.subject.other | õhukesed kiled | et |
dc.subject.other | aatomkihtsadestamine | et |
dc.title | Kasvutingimuste ja -aluste mõju TiO2 aatomkihtsadestumisele | et |
dc.type | Thesis | en |