Füüsika instituut
Permanent URI for this communityhttps://hdl.handle.net/10062/14976
Browse
Browsing Füüsika instituut by Subject "aatomkihtsadestamine"
Now showing 1 - 20 of 21
- Results Per Page
- Sort Options
Item Aatomkihtsadestamise protsesside mõju alumiiniumoksiid kile mehaanilistele omadustele(Tartu Ülikool, 2024) Koppel, Natali; Piirsoo, Helle-Mai, juhendaja; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutAatomkihtsadestatud (ALD) Al2O3 kile kasutatakse palju nano- ja mikrostruktuursetes seadmetes tema dielektriliste omaduste tõttu, kaasa arvatud painduval elektroonikal, kus polümeersele alusele transistorite valmistamisel peab temperatuur olema alla 350 °C. Antud töös vaadeldi 3 erineva ALD protsessi (Al(CH3)3/H2O, Al(CH3)3/O2 plasma, Al(CH3)3/O3) ja 3 eri sadestustemperatuuri (80, 150, 300 °C) mõju Al2O3 kile mehaanilistele omadustele. Mehaaniliselt karakteriseeriti kiled nanotäkkimisel, mil määrati nende kõvadus ja Youngi moodul. Kile kõvadus tõusis sadestustemperatuuriga sõltumata hapnikuallikast ja Youngi moodul H2O ja O3 kasutades. 80 ºC juures valmistati kõige kõvemad (9 GPa) ja kõrgema Youngi mooduliga (157 GPa) Al2O3 kiled O2 plasma protsessis. Antud protsessi kiled olid kõige homogeensemad. Kõige suuremad paksuse gradiendid esinesid O3 protsessides. 300 ºC juures valmistati kõige kõvemad (12 GPa) ja kõrgema Youngi mooduliga (174 GPa) Al2O3 kiled H2O protsessis.Item Aatomkihtsadestatud alumiiniumoksiidist ja tsirkooniumdioksiidist kilede mehaanilised omadused(Tartu Ülikool, 2021) Vanker, Oliver; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutItem Aatomkihtsadestatud ning termotöödeldud ränioksiidiga dopeeritud hafniumoksiidist kilede kristallstruktuur ja mehaanilised omadused(Tartu Ülikool, 2024) Vanker, Oliver; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondKäesolevas töös uuriti aatomkihtsadestatud ränioksiidiga dopeeritud hafniumoksiidist kilesid. Kilede tegemisel varieeriti ränioksiidi dopeeringut 1,5-25,5 moolprotsendi ulatuses. Kilede kristallstruktuuri hinnati röntgendifratsiooni kaudu. Kilede kõvadus ja elastsusmoodul määrati nanotäkkimisega. Kilesid karakteriseeriti lisaks lainedispersiivne röntgenfluorestsents spektroskoopiaga, röntgenpeegeldusega ja spektroskoopilise ellipsomeetriaga. Töös demonstreeritakse kristallstruktuuri tekkimist peale termotöötlust. Hinnati kristallstruktuuri mõju kile mehaanilistele omadustele.Item Aatomkihtsadestatud tahkiskeskkondade varieeruva stabiilsusega takistuslülituslik käitumine(Tartu Ülikool, 2022) Viskus, Toomas Daniel; Kukli, Kaupo, juhendaja; Merisalu, Joonas, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutItem Aatomkihtsadestatud ternaarsete oksiidide ellipsomeetria(Tartu Ülikool, 2016) Kalam, Kristjan; Kasikov, Aarne, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutItem Aatomkihtsadestatud tsirkooniumdioksiidil põhinevad funktsionaalsed katted meditsiinilisele titaanile(Tartu Ülikool, 2017) Aaviksoo, Elyne; Merisalu, Maido, juhendaja; Mäemets-Allas, Kristina, juhendaja; Sammelselg, Väino, juhendaja; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondItem Capacitive behavior of atomic layer deposited nanomaterials for memories(Tartu Ülikool, 2022) Ofoegbu, Chinedu Henry; Kukli, Kaupo, Juhendaja; Merisalu, Joonas, juhendaja; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondItem Effect of atomic layer deposition Pparameter alteration on monolayer graphene and resistive switching(Tartu Ülikool, 2024) Raudonen, Kristina; Kukli, Kaupo, juhendaja; Kahro, Tauno, juhendaja; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondSee töö on pühendatud ühekihilise grafeeni kvalitatiivsele analüüsile ja takistuslülitustele, kui aatomkihi sadestamise parameetreid, nagu temperatuur ja kile koostis muudetakse, lisades protsessile lõõmutamise ja puhvrikihi.Item Epitaksiaalse TiO2 aatomkihtsadestamine safiirile: aluse orientatsiooni mõju õhukeste kilede struktuurile ja kasvukiirusele(Tartu Ülikool, 2014-06-16) Möldre, Kristel; Aarik, Jaan, juhendaja; Tarre, Aivar, juhendaja; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskondItem Kasvutingimuste ja -aluste mõju TiO2 aatomkihtsadestumisele(Tartu Ülikool, 2012) Arroval, Tõnis; Aarik, Jaan, juhendaja; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskondItem Magnetiliste metalloksiidkilede ja nende korrusstruktuuride mikroskoopia ja struktuuranalüüs(Tartu Ülikool, 2017) Seemen, Helina; Tamm, Aile, juhendaja; Kukli, Kaupo, juhendaja; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondItem Meditsiinilise titaani funktsionaliseerimine aatomkihtsadestatud kiledega(Tartu Ülikool, 2015) Aaviksoo, Elyne; Merisalu, Maido, juhendaja; Klaas, Mariliis, juhendaja; Sammelselg, Väino, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutItem Memristorstruktuurid erineva jäikusega alustel(Tartu Ülikool, 2024) Urb, Lii; Kukli, Kaupo, juhendaja; Kahro, Tauno, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutUurimistöö on suunatud memristorstruktuuride valmistamisele erineva jäikusega alustele ning seejärel erinevate karakteriseerimismeetoditega struktuuri osade karakteriseerimine. Lisaks sellele analüüsiti erinevatest metallidest elektroodide mõju memristorstruktuurile ja elektroodi adhesiooni erinevatest materjalidest alustega. Memristorstruktuuri takistuslülituslike omaduste karakteeriseerimiseks viidi läbi elektrilised mõõtmised. Viimased elektrilised mõõtmised viiakse läbi hiljem.Item Mustad katted(Tartu Ülikool, 2018) Toots, Karl Marti; Merisalu, Maido, juhendaja; Sammelselg, Väino, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutItem Nanostruktuurne kaitsekate alumiiniumsulamile AA6082(Tartu Ülikool, 2020) Piirsoo, Helle-Mai; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkondItem Nanostruktuursete oksiidkatete kõvaduse määramine(Tartu Ülikool, 2018) Piirsoo, Helle-Mai; Merisalu, Maido, juhendaja; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Sammelselg, Väino, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutItem Polüpürooli kasutamine Al-sulamite korrosioonivastaste pinnakatete tõhustamiseks(Tartu Ülikool, 2012) Pala, Mailiis; Sammelselg, Väino; Merisalu, Maido; Tartu Ülikool. Füüsika instituut; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskondItem TiO2 maatriksist ja kulla nanoosakestest koosnev nanostruktuur valguse neelduvuse suurendamiseks kilepäikesepaneelides(Tartu Ülikool, 2016) Krautmann, Robert; Tamm, Aile, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutItem Titaandioksiidi aatomkihtsadestamine kvartsile ja safiirile: aluste mõju õhukeste kilede kasvukiirusele ja struktuurile(Tartu Ülikool, 2012) Möldre, Kristel; Aarik, Jaan, juhendaja; Tarre, Aivar, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutItem ZrO2 ja Co3O4 koosnevate kihiliste struktuuride võimalikud kasutusvõimalused spinntroonilistes seadmetes(Tartu Ülikool, 2017) Mikkor, Mats; Tamm, Aile, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituut