Aatomkihtsadestamise meetodil valmistatavate kilede kasvu jälgimine ja kasvukiiruse salvestamine elektroonsel kujul

dc.contributor.advisor	Sammelselg, Väino, juhendaja
dc.contributor.author	Lõhmus, Indrek
dc.contributor.other	Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond	et
dc.contributor.other	Tartu Ülikool. Arvutiteaduse instituut	et
dc.date.accessioned	2020-10-28T09:12:51Z
dc.date.available	2020-10-28T09:12:51Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.other	ARH Diss. B-18871
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10062/70100
dc.description.uri	https://www.ester.ee/record=b5382238*est	et
dc.language.iso	est	et
dc.publisher	Tartu Ülikool	et
dc.rights	restrictedAccess	et
dc.rights	Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/	*
dc.subject.other	bakalaureusetööd	et
dc.subject.other	informaatika	et
dc.subject.other	infotehnoloogia	et
dc.subject.other	informatics	et
dc.subject.other	infotechnology	et
dc.subject.other	õhukesed kiled	et
dc.subject.other	aatomkihtsadestamine	et
dc.subject.other	arvutiprogrammid	et
dc.title	Aatomkihtsadestamise meetodil valmistatavate kilede kasvu jälgimine ja kasvukiiruse salvestamine elektroonsel kujul	et
dc.type	Thesis	et

Except where otherwise noted, this item's license is described as restrictedAccess