Aatomkihtsadestamise meetodil valmistatavate kilede kasvu jälgimine ja kasvukiiruse salvestamine elektroonsel kujul

Thumbnail Image

Files

lohmus_indrek_bakalaureusetoo.pdf (3.48 MB)

Date

2009

Authors

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Tartu Ülikool

Abstract

Description

Keywords

Citation

URI

http://hdl.handle.net/10062/70100

Collections

LTAT bakalaureusetööd – Bachelor's theses